国家级名单公示，余姚一产业集群成功入选！

2024-09-12 09:56 姚界客户端记者 沈彦汝

近日，工业和信息化部办公厅公示了2024年度中小企业特色产业集群名单，由宁波阳明工业技术研究院有限公司运营管理的半导体溅射靶材产业集群成功入选。

图为阳明工研院（资料图）

我市的半导体溅射靶材产业集群主导产业为电子级超高纯金属、半导体靶材、核心装备及关键零部件等，主要应用在集成电路、航天、电子、医疗、新能源汽车等先进制造领域。

在集群生态方面，该集群基本形成以江丰电子为链主，以创润新材料、江丰半导体等为配套，以铝、铜、钛、钽和钨、钼为主的“金属提纯制备—靶材制造—溅射镀膜—终端应用”溅射靶材全产业链，配套企业创润新材料是国内唯一的超高纯钛金属产业生产基地。

在技术水平方面，该集群拥有国内唯一一家可以提供芯片制造用全品类、全技术节点溅射靶材的企业江丰电子，成功实现国产替代；攻破了全球最领先的3-5nm工艺核心技术，处于国际领先水平；实现了半导体用超高纯溅射靶材的晶粒晶向调控技术、焊接技术、精密机械加工技术及清洗封装技术全面攻克，全面覆盖了先进制程、成熟制程和特色工艺领域。同时，我市加速布局第三代半导体封测材料，拥有国内首条具备世界先进水平、自主化设计的第三代半导体功率器件模组核心材料制造生产线。

在创新能力方面，该集群拥有一系列国家级企业技术中心、全国示范院士工作站、博士后科研工作站和省级重点企业研究院、重点实验室、高新技术企业研发中心，在金属提纯、靶材制造、第三代半导体封测材料领域形成了一大批标志性硬核创新成果，其中“超高纯铝钛铜钽金属溅射靶材制备技术及应用”项目荣获“国家技术发明二等奖”。集群相关企业自主设计定制了超高纯钛提纯装备、超级双两千热等静压机等一大批高精尖生产研发装备，建立起世界一流的超高纯金属材料分析检测中心。

市经信局相关科室负责人表示，在该集群的培育工作上，我市将持续激发创新活力，加强人才培育和引进，强化链主企业带领，建立培育优质企业梯队机制，并持续完善相关企业的用电、用能和用地等各类要素保障。

来源：余姚新闻网